晶圆减薄前贴膜机STK-620规格:
晶圆尺寸:4”&5”&6”&8”晶圆;
晶圆厚度:300~750 微米;
晶圆种类:硅, 砷化镓或其它;
单平边,双平边,V 型缺口;
胶膜种类:蓝膜或者 UV 膜;
宽度:120~240 毫米;
长度:100 米;
厚度:0.05~0.2 毫米;
贴膜原理:防静电滚轮贴膜;
贴膜动作:自动拉膜和贴膜;
晶圆台盘:通用(一体式)特氟隆防静电涂层接触式台盘;或硅胶台盘,或陶瓷台盘;
装卸方式:晶圆手动放置与取出;
防静电控制:防静电特氟隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器;
切割系统:独特的手动可调整环形切刀适用于不同的晶圆外形,刀头带独立加热机构无任何飞边,并省去修边。
独特的手动直切刀设计,为---省膜的设计;切割刀温度:-高达 150℃;
晶圆定位:通用标线/弹簧销钉;
控制单元:基于 PLC 控制,并带 5.7”触摸屏;
安全防护:配置紧急停机按钮;
电源电压:相交流电 220V,10A;
压缩空气:5 公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟 2 立方英尺;
机器外壳:白色喷塑金属外壳;
体积:560 毫米(宽)*880 毫米(深)*500 毫米(高);
净重:80 公斤;
晶圆减薄前贴膜机性能:
晶圆收益:≥99.9%;
贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);
每小时产能:≥ 80 片晶圆;
更换产品时间:≤ 5 分钟。
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