有机材料热蒸镀设备 OLED, OPV

有机材料热蒸镀设备 OLED, OPV
有机金属热沉积系统是一种热蒸发的方式, 用于将有机或金属材料沉积到基板表面上. 该过程需要通过**控制温度和沉积速率来实现薄膜的高精度和均匀性. 为了达到此要求, 有机材料热沉积系统使用高精准热蒸发源作为加热源, 并使用金属, 石英, 陶瓷或 PBN 坩埚来容纳有机材料以及 PID 控制器来控制其沉积速率.

上海伯东针对薄膜封装推出电浆辅助式化学气相沉积, 原子层沉积和聚对二甲苯沉积等三种设备, 且使用低温的沉积技术, 分别在 OLED 上堆叠多层薄膜, 广泛应用于有机发光二极体, 有机光伏打电池和材料科学研究.

上海伯东有机材料热蒸镀设备配置和优点
客制化的基板尺寸, -大直径为 12寸晶圆或 470 x 370 mm
优异的薄膜均匀度小于 ±3%
用于有机材料的蒸发源（可用金属、陶瓷、石墨或 PBN 坩埚）
镀率自动控制: -小值为 0.01Ǻ/s
蒸发源温度控制可达到精度 ±0.1
具有顺序操作或共沉积的多个蒸发源
用 CCD 对位将玻璃基板和遮罩的位置对准在±5μm 以内
每个蒸发源和基材均有安装遮板和百叶窗

有机材料热蒸镀设备腔体和选件
腔体的极限真空度约为 -10, 由 304不锈钢所制成, 通过外部焊接 304不锈钢管线对腔体进行水冷. 宽大的前开式门, 并有两个视窗和视窗遮版用于观察基材和蒸发源. 一个热蒸发腔体内, -多可容纳 12组热蒸发源. 设备可以与传送腔, 机械手臂和手套箱整合在一起, 搭配使用残留气体分析仪.
 

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