上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 75

KRI 考夫曼离子源 KDC 75
上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 75:紧凑栅极离子源,离子束直径 14 cm ,可安装在 8“CF法兰. 适用于中小型腔内, 考夫曼离子源 KDC 75 包含2个阴极灯丝, 其中一个作为备用,KDC 75 提供紧密聚焦的电子束特别适合溅射镀膜. 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 250 mA.
 

KRI 考夫曼离子源 KDC 75 技术参数

型号	KDC 75 / KDC 75L(低电流输出)
供电	DC magnetic confinement
- 阴极灯丝	2
- 阳极电压	0-100V DC
电子束	OptiBeam™
- 栅极	专用, 自对准
-栅极直径	7.5 cm
中和器	灯丝
电源控制	KSC 1212 或 KSC 1202
配置	-
- 阴极中和器	Filament, Sidewinder Filament  或LFN 2000
- 安装	移动或**法兰
- 高度	7.9'
- 直径	5.5'
- 离子束	聚焦 平行 散设
-加工材料	金属 电介质 半导体
-工艺气体	惰性 活性 混合
-安装距离	6-24”
- 自动控制	控制4种气体

* 可选: 一个阴极灯丝; 可调角度的支架

KRI 考夫曼离子源 KDC 75 应用领域
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE

客户案例: 超高真空离子刻蚀机 IBE, 真空度 5E-10 torr, 系统配置
美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75

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