二手扫描电镜从上海港进口需要的时间

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 二手扫描电镜从上海港进口需要的时间


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进口顾问:付女士(Cherry Fu

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扫描电镜主要有真空系统,电子束系统以及成像系统。

 

1、真空系统

真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。

真空柱是一个密封的柱形容器。

    真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧及六硼化铈枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。之所以要用真空,主要基于以下两点原因:一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以需要抽真空 ,二是为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成象的电子更多。

 

2、电子束系统

    电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。

电子枪:用于产生电子,主要有两大类,共三种。一类是利用场致发射效应产生电子,称为场致发射电子枪。这种电子枪极其昂贵,在十万美元以上,且需要小于10-10torr的极高真空。但它具有至少1000小时以上的寿命,且不需要电磁透镜系统。另一类则是利用热发射效应产生电子,有钨枪和六硼化镧/六硼化铈枪两种。钨枪寿命在30100小时之间,价格便宜,但成象不如其他两种明亮,常作为廉价或标准扫描电镜配置。六硼化镧枪及六硼化铈寿命介于场致发射电子枪与钨枪之间,为2001500小时,价格约为钨枪的十倍,图像比钨枪明亮510倍,需要略高于钨枪的真空,一般在10-7torr以上;

电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子枪的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。通常会装配两组:

汇聚透镜:顾名思义,汇聚透镜用汇聚电子束,装配在真空柱中,位于电子枪之下。通常不止一个,并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束,与成象会焦无关。

物镜:物镜为真空柱中**下方的一个电磁透镜,它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。

 

3、成像系统

    电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。

虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。


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