HORIBA流量传感器Gas flow meter FM-10-M,stec
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、**响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围,客户可选择**适合的类型。我们可提供三种阀门,客户可选择热式阀门、电磁线圈阀门、或者压电陶瓷阀。同样我们也可提供多种不同的通讯方式,包括模拟式、数字式、DeviceNet™ (*1), 以及PROFIBUS™(*2) (取决于产品型号)。我们产品的流量范围可覆盖微量流量直至超大流量。
****的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500
高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI(压力不敏感型)质量流量模块
特征
压力不敏感性
高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统
多量程,多气体,多种压力的解决方案
新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围
G-LIFE 自我检测功能(气体定律检查集流节流方程)
**G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力
高精度
**的三维调节已改进工艺气体的流量精度
**响应
响应速度<0.8秒
已实现精准且稳定的流量控制
动态范围
控制范围:0.2% F.S. ~ 100% F.S.
制造: HORIBA STEC
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