http://www.coremorrow.cn/ParentList-580674.html
http://www.ybzhan.cn/st16132/list_580674.html
精密位移台采用高性能的直线电机进行驱动，配备纳米级别分辨率的光栅反馈系统及**的运动控制系统，兼顾了性能和可靠性双重设计之间的平衡。采用机械轴承的平台能够媲美采用气浮轴承的平台所能达到的精度水平。
精密位移台中心具有通孔，台体集成高精度传感器，采用柔性铰链设计、无机械摩擦、分辨率高。产品主要应用于透光精密光学器件的定位，生物显微与显微成像系统。精密位移台包括一维、二维、三维三种运动形式，**运动范围可达370μm。
