产品名称:探针台EG2001
EG2001是ELECTROGLAS公司的PCM参数测试用的全自动探针台,载片台(CHUCK)可以加热或通压缩空气, 用于不同温度的参数测试,可以通过显示器观察对片,电机控制显微镜的左右(X) ,前后(Y) 和上下(Z) 使操作方便。可以直接利用软件实施控制。
EG2001自动探针台主要特点:
1、EG2001是ELECTROGLAS公司针对半导体晶片在片测试生产的全自动探针台,设计上具有高精度、模块化的特点,可以按照客户的能要求进行组件的选配。通过可选组件的配置可以实现自动上卸片、晶片自动对准、自动测试、载片台(CHUCK)温度控制、自动分选等能。
2、EG2001自动探针台的核心是采用空气静压轴承的Linear Reluctance Stepper Motor磁阻式平面步进电机。与其它品牌的同类产品所采用的滚珠丝杠结构相比,该结构具有气浮轴承长期连续使用无机械磨损、控制系统完善、步进精度高、启停迅速、噪音小、维护方便等优点。
3、EG2001自动探针台具有良好的兼容性,可与各**的主流测试设备配合使用。
4、升级后的EG2001系统用文件处理代替了EG2001系统的软盘,实现了MAPPING 以及数据文件的保存、检查、打点的所有能,通过网络直接传送、处理、保存数据。新系统将原来用手工转存软盘文件、检查文件、转移打点的所有工作集成在一起,不仅避免了原来需要在不同的系统里(CPM、DOS、WINDOWS)来回处理文件的烦琐,而且解决了软盘存储效率低下、操作不便、保存困难等问题,极大地提高了MAP文件处理的效率。