液体无水氨油含量检验中心

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超纯氨是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料,其反应为:750—850℃ :SiH4+NH3---Si3N4+H2+N2 ,850—900℃ :3SiCl4+4NH3---Si3N4+12HCl。虽然NH3在半导体制造用量不大,但在光电子领域、超纯氨是十分重要的原材料,NH3的质量好坏直接决定发光二极管(LED)的亮度,它的价格高低左右着LED的经济性。发光二极管LED是继爱迪生发明电灯后,人类又一次照明工业的革命,发达国家(包括我国**省在内)为在此领域获得更大的主动权,纷纷成立国家照明工作委员会,LED现已产业化生产,**生产的LED已大量进入我国市场,为打破专利垄断,中国成立了照明工作领导办公室,中国将在2006年全面推广半导体照明,届时对NH3的需求将猛增。LED是利用超纯氨同三甲基镓(被称为MO源)反应,生成GaN半导体的,其反应为650℃Ga(CH3)3+NH3 ,GaN+CH4N2 发达国家光电子发展速猛,处于成熟期,因此,极大推动气体公司对氨提高纯度的研究,AP公司的Solkatronic chemicals 推出的NH3纯度达到6.4N,被称为“Blue Ammonia”。

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