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超纯氨现广泛应用于LED、TFT、集成电路等领域。在近年来高速增长的LED产业中,超纯氨作为其上游产业中LED蓝绿光外延芯片制造**主要的原材料之一,其纯度对LED的亮度、颜色和电学属性等有极大的影响。而且超纯氨用量大、价格高,故从LED外延芯片企业的运行成本来讲,占有举足轻重的地位。在PV行业,则作为晶体硅太阳能电池中氮化硅薄膜重要的氮源,它的质量对太阳能电池起着至关重要的作用。因此对其分析技术提出了较高的要求。本文论述了超纯氨中痕量杂质的分析方法,特别探讨了使用光腔衰荡光谱法对极具挑战性的超高纯度气体中微量水分的分析。
超纯氨分子式:NH3[1]

A colorless,toxic,flammable,corrosive,liquefied gas.(一种无色,有毒,可燃,具腐蚀性的可液化气体。)沸点-33.4℃。熔点-77.7℃。蒸汽压888KPa(21.1℃)。比容22.6ft3/lb(70°F,14.696psia)。**可燃性含量15%。**高可燃性含量30%。人体的**高容许浓度25ppm。DOT类别2.2(Flammable Gas)(可燃性气体)。DOT标签FLAMMABLE GAS(可燃性气体)。

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