[供求通第7年] 指数:8
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成分 |
高纯氦气 |
单位 |
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氦气 |
≥ |
99.999% |
%V |
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氖气 |
≤ |
4 |
ppmv |
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氢气 |
≤ |
1 |
ppmv |
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氧气 |
≤ |
1 |
ppmv |
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氮气 |
≤ |
2 |
ppmv |
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一氧化碳 |
≤ |
0.5 |
ppmv |
|
二氧化碳 |
≤ |
0.5 |
ppmv |
|
甲烷 |
≤ |
0.5 |
ppmv |
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水份 |
≤ |
3 |
ppmv |
