使用容积泵泵送溶液，并通过混合室和喷嘴压缩空气。将基板放在加热板上，可通过专用控制器将其温度设置在所需水平。
将热板安装在电动XY平台上，以在涂覆过程中按要求移动基板
顺序，以便获得均匀的涂层。溶液的流速和底物的运动顺序通过个人计算机控制。
使用随附的控制附件手动启动火焰并将其设置为所需的强度级别设备器材。由于溶液是借助压缩空气喷洒的，因此该设备可用于喷涂热解也没有火焰。具有和不具有火焰的热解薄膜的组合也可以在连续的操作中在相同的基板上生产喷雾热解是通过雾化并在加热的溶液中喷雾溶液来沉积薄膜的过程表面，该成分反应形成化合物。在火焰辅助喷雾热解中，在沉积到基材上之前，先用氧-乙炔气体混合物产生的火焰加热该喷雾。
选择化学反应物以使除所需化合物外的产物在沉积温度。该方法通常可用于将氧化物沉积到金属和陶瓷基材，特别适合在无定形二氧化硅和镍基超合金（如Nimonic-90）上沉积Al2O3，ZnO和ZnO-MgO和ZrO2-Y2O3的亚稳固溶体。
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